扫描电子显微镜(SEM)样品制备是获得高质量图像的关键步骤。
样品制备要求：
1. 样品必须干燥，不含水分和挥发性物质
2. 样品表面需平整，避免台阶和划痕
3. 导电性差的样品需要进行喷金/喷碳处理
4. 样品尺寸需适配样品台
制样方法：
1. 机械切割和抛光
2. 离子束加工
3. 化学蚀刻